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具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。潔凈室的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室?，F(xiàn)在我們國家的凈化工程已經(jīng)在朝著節(jié)能的方向發(fā)展了，除了人士以外，其他人很少知道凈化工程的耗能量特別大，時候普通寫字樓的20倍，比美國更發(fā)達國家高出了15%?？吹竭@些令人心驚的數(shù)字，我們國家的科學(xué)家們從節(jié)能的角度出發(fā)從根本上出出發(fā)，設(shè)計出能夠節(jié)省的相關(guān)設(shè)備。

濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。凈化工程在設(shè)計時，無論是新建還是重新改造的凈化車間，都一定依照國家相關(guān)標準、規(guī)范進行。

工業(yè)潔凈室：以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。凈室及凈化空調(diào)系統(tǒng)都達到了了潔凈的要求之后，凈化空調(diào)系統(tǒng)必須要進行試運轉(zhuǎn)。好連續(xù)運轉(zhuǎn)12個小時以上，然后再次進行清掃，擦凈潔凈室后立即安裝過濾器。與所有工業(yè)潔凈廠房一樣，空氣潔凈室也是工業(yè)潔凈廠房中的一項重要技術(shù)。工業(yè)潔凈廠房的空氣潔凈室提供的空氣質(zhì)量將直接影響在該環(huán)境中生產(chǎn)的微粒和微生物污染的水平，進而直接影響生產(chǎn)的質(zhì)量。